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      NRL60A/90A/180A干式真空泵

      NRL60A/90A/180A干式真空泵

      簡(jiǎn)要描述：● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。
      ● 低噪音、低振動(dòng)
      ● 優(yōu)良的耐腐蝕性

      產(chǎn)品型號： NRL60A/90A/180A

      所屬分類(lèi)：真空泵

      更新時(shí)間：2024-08-23

      廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家

      詳情介紹

       

      特長(cháng)
      ● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。
      ● 低噪音、低振動(dòng)
      ● 優(yōu)良的耐腐蝕性
      標準零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內部的腐蝕程度。
      ● 選購件
      可選購消音器、冷卻水流量開(kāi)關(guān)、氮氣流量開(kāi)關(guān)、泵溫傳感器。
       
      用途
      ◆ 活性氣體（CVD、刻蝕等）
      ◆ 排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）
      ◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）
      ◆ 作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）
      ◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣


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