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      中國國家電子級超純水標準

      發(fā)布時(shí)間： 2012-07-04　　點(diǎn)擊次數： 1419次

      中國國家電子級超純水規格 GB/T11446.1-1997

       

      電阻率
      25℃
      MΩ*cm

      Si
      ≤μg/L

      Cu
      ≤μg/L

      Zn
      ≤μg/L

      Ni
      ≤μg/L

      Na
      ≤μg/L

      K
      ≤μg/L

      Cl
      ≤μg/L

      >1μm 顆粒
      ≤N/ml

      細菌
      ≤N/ml

      Agno3
      ≤g/L

      -PO4 ≤μg/L

      SO4、≤μg/L

      TOC
      ≤μg/L

      EW-I

      ≥18*

      2

      0.2

      0.2

      0.1

      0.5

      0.5

      1

      0.1

      0.01

      1

      1

      1

      20

      EW - II

      ≥15 **

      10

      1

      1

      1

      2

      2

      1

      5

      0.1

      1

      1

      1

      100

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